半導体生産現場の振動を即時可視化、安藤ハザマが無線／多点計測システムを開発：製品動向

安藤ハザマは2026年4月から、無線計測／多点計測／リアルタイム分析を組み合わせた振動計測システム「（仮称）AH-WAVESアーウェイブス」の運用を開始する。

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　安藤ハザマは2026年3月2日、半導体や精密機器の生産施設における振動課題に対応する振動計測システム「（仮称）AH-WAVES（アーウェイブス）」を開発し、2026年4月から運用を開始すると発表した。無線計測、多点計測、リアルタイム分析を組み合わせることで、迅速な振動計測と評価を可能にする。

振動計測システム　出典：安藤ハザマプレスリリース

　半導体市場の拡大に伴い、生産現場で設備更新やライン再構築が加速する中、現場状況の迅速な把握や設備移設の可否を早期に確認したいといったニーズが高まっている。従来の振動計測では、機材の運搬や設置、配線作業に時間を要し、分析には高度な専門知識が求められるため、結果の判断までに長いリードタイムが発生していた。

　新システムは小型で軽量のバッテリー駆動センサーとPCをWi-Fiで接続し、配線を行わずに振動計測を実施できる。特にクリーンルーム内での計測時に必要なケーブルや機材の純水拭き上げ作業を大幅に削減でき、準備時間の短縮につながる。

　3軸振動センサーを最大6台まで接続可能で、多点での振動を比較／評価できる。計測時にはリアルタイムで振動評価レベルを表示し、任意の時刻を選択することで周波数成分を確認できる。生産施設の情報と比較することで、振動との因果関係の把握を支援する。

振動計測画面　出典：安藤ハザマプレスリリース

　さらに、インターネット経由で遠隔地から現場の計測状況を確認でき、過去データの参照も可能とした。常時計測によって長期間のデータを蓄積できるため、振動環境の変化の把握や実質的な振動許容値の推定に活用できる。

　今後は顧客現場での活用を通じてシステムの改善を進めると同時に、単なる計測にとどまらず、生産現場の安定稼働と品質向上に寄与する運用支援へと発展させるとしている。

遠隔監視機能　出典：安藤ハザマプレスリリース