半導体製造装置向けの免震装置を機能拡張、中小地震から大地震まで対応：レジリエンス

大成建設は、半導体製造装置向け高性能機器免震装置を改良し、新開発の免震支承により中小地震から大地震まで幅広い対応が可能となった。

[BUILT]

　大成建設は2025年11月17日、半導体製造装置向け高性能機器免震装置新型「TASSユニット」を改良したと発表した。最大震度6弱程度までの大地震時に加え、震度3〜5弱程度の中小地震時にも対応する。半導体製造装置の重要部品や製造途中の半導体製品が地震時に受ける被害を低減し、半導体製造の生産性向上に寄与する。

新型「TASSユニット」を配置した架台の全体構造　出典：大成建設プレスリリース

　TASSユニットは、震度5弱以上の大地震時に半導体製造装置の重要部品（石英部品）が損傷することを防止する目的で、2009年にエーエスと共同開発した。車輪とレールが一体となった転がり支承をユニット化し、水平2方向の免震構造により地震時の揺れを効果的に減衰する。2022年には、免震装置の共通ユニット化と設置架台の合理化を図った新型ユニットを開発。国内と台湾で、従来型／新型含めこれまでに約4000台が採用された実績がある。

転がり支承の基本構造　出典：大成建設プレスリリース

　一方で、半導体チップの回路をより細かく製造するプロセスノードの微細化が進む中、発生頻度の高い中小地震により製造中のウェーハなどの半導体製品が破損するリスクへの対策が求められている。

　今回の改良では、転がり支承の車輪部分に摩擦抵抗を切り替える新技術を導入。摩擦抵抗の異なる2種類の車輪とクランク形状のレール（切替型レール）を組み合わせた構造を採用した。大地震への対応を想定した従来の車輪と、より摩擦抵抗が小さい車輪を併用。新搭載した切替型レールの働きによって、地震の揺れの大きさに応じて支承ユニットを使い分け、中小地震から大地震までさまざまな規模の地震に対して高い免震性能を発揮する。導入コストは従来型と同等で、免震装置の設計条件などの情報が事前に分かれば発注から最短1カ月で納品可能。

　大成建設は今後、機能拡張した新型TASSユニットをラインアップに加え、国内外の半導体製造装置で幅広く展開していく。

新開発の転がり支承の特長　出典：大成建設プレスリリース

機能拡張した新型「TASSユニット」の目標性能　出典：大成建設プレスリリース