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東京エレクトロンの半導体製造装置開発拠点完成、次世代エッチング装置など研究：工場ニュース
東京エレクトロン子会社の東京エレクトロン宮城に建設していた「第3開発棟」が完成した。プラズマエッチング装置など、半導体製造装置の開発拠点となる見通しだ。
東京エレクトロンは2025年4月24日、子会社の東京エレクトロン宮城に建設していた「第3開発棟」が完成したと発表した。プラズマエッチング装置など、半導体製造装置の開発拠点となる見通しだ。
新開発棟は、次世代の開発の在り方を考え、安全、品質、環境を優先して開発を進め、デジタル技術を活用した開発の高度化や開発オペレーションの効率化を図って建てられた。高付加価値で高品質な製品を、顧客へよりタイムリーに提供することを目指すとしている。
新棟の所在地は宮城県黒川郡で、延床面積は付帯設備のエリアを除いて約4万6000mm2だ。全免震構造の鉄骨造で地上3階建てとなる。2023年6月に着工し、約520億円をかけて建設された。
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